Мікроелектронний газорезистивний датчик на основі нанокристалічних плівок діоксиду олова з добавками тербію та сурми

Розглянуто технологію мікроелектронних резистивних газових датчиків. Нагрівач і терморезисторні контакти утворюються на окисленій кремнієвій підкладці шляхом розпилення ніхромової плівки та подальшої фотолітографії у поєднанні з реактивним магнетронним напиленням нанокристалічної плівки діоксиду олова з добавками тербію та сурми. Датчику 1,5 × 1,5 мм потрібно 90 мВт для нагрівання до оптимальної робочої температури 250–280 ° C. Датчик має дуже високу чутливість до спиртів та низьку чутливість до бензолу та ацетону.

Це попередній перегляд вмісту передплати, увійдіть, щоб перевірити доступ.

Параметри доступу

Придбайте одну статтю

Миттєвий доступ до повної статті PDF.

Розрахунок податку буде завершено під час оформлення замовлення.

Підпишіться на журнал

Негайний онлайн-доступ до всіх випусків з 2019 року. Підписка буде автоматично поновлюватися щороку.

Розрахунок податку буде завершено під час оформлення замовлення.

датчик

Список літератури

Т. Сейяма, А. Като і К. Фуджуїсі, “Новий детектор газоподібних компонентів із використанням напівпровідникових тонких плівок” Анальний Хім., 34, 1502–1503 (1962).

Г. Короценков та Б. К. Чо, “Склад оксиду металу в коригуючих газових датчиках та датчиках”, Датчик. Актуат. B-Chem., 244, 182–210 (2017).

Дас Сумен і В. Джаяраман, “SnO2: всебічний огляд і газові датчики”, Prog. Матер. Наук., 66, 112–255 (2014).

В. В. Кривецький, М. Н. Румянцева, А. М. Гасков, “Хімічна модифікація нанокристалічного діоксиду олова для селективних газових датчиків”, Usp. Хімія, 82, No 10, 917–941 (2013).

А. М. Гуляєв, О. Б. Мухіна, І. Б. Варлашев, О. Б. Сарач, А. В. Тітов, М. С. Бурцев та В. В. Прохоров, Особливості технології та властивості тонкоплівкових датчиків на основі SnO 2 , Отримано за допомогою реактивного магнетронного розпилення, Датчик ANO IRISEN (2001), сс. 10–21.

А. М. Гуляєв, О. Б. Сарах, В. А. Котов, А. А. Ванін, Ю. В. Ануфрієв та А. В. Коновалов, "Резистивні газові датчики з високою чутливістю до спиртів на основі нанокристалічних оксидних плівок олово з добавками тербію та сурми", Ізмер. Техн., No 7, 34–37 (2017).

І. Т. Вебер, А. Валентіні, Л. Ф. Д. Пробст, Е. Лонго та Е. Р. Лейте, “Каталітична активність нанометричних чистих і рідкісно-легованих зразків SnO2”, Матер. Lett., 62, No 10–11, 1677–1680 (2008).

А. М. Гуляєв, О. Б. Сарач, В. А. Котов, А. І. Кобзєв та А. Д. Петров, “Вплив вологості на параметри газових датчиків на основі нанокристалічних плівок оксиду олова з добавками тербію та сурми” Мікро- та нанотехнології в електроніці: Зб. IX Міжнародний Наук. Тех. Конф., Нальчик (2017), с. 466–469.

А. М. Гуляєв, О. Б. Сарач, А. А. Ванін, М. А. Слепнєва, „Електронний ніс” на основі нанокристалічних плівок олова та рідкісноземельних оксидів ” СПІЦЕ – 2014: Просто. Sense/Enable, Ліменау, Німеччина (2014).