Вимірювання продуктивності розпилення тонких фольг за допомогою скануючої просвічувальної іонної мікроскопії

Анотація

Скануюча просвічувальна іонна мікроскопія (STIM) застосовується для вимірювання виходу розпилення тонкої фольги Ковара. Результати були знайдені у дуже хорошій відповідності зі значеннями, визначеними методом втрати ваги, демонструючи STIM як можливу альтернативну методику вимірювання для оцінки виходу розпилення тонких зразків матеріалу. Вимірювання проводили за нормальної частоти падіння іонів ксенону для енергій іонів в діапазоні від 100 до 1000 еВ. Крім того, повідомляється про врожайність об'ємних зразків Ковара. Дані можуть бути цікавими для застосувань іонних пучків, таких як сонячне електричне рушійне сполучення, в якому матеріали з низькою віддачею розпилення є кращими для забезпечення тривалого терміну служби компонентів системи.

Це попередній перегляд вмісту передплати, увійдіть, щоб перевірити доступ.

Параметри доступу

Придбайте одну статтю

Миттєвий доступ до повної статті PDF.

Розрахунок податку буде завершено під час оформлення замовлення.

Підпишіться на журнал

Негайний онлайн-доступ до всіх випусків з 2019 року. Підписка буде автоматично поновлюватися щороку.

Розрахунок податку буде завершено під час оформлення замовлення.

Список літератури

Р. Беріш, В. Екштейн, Розпилення шляхом бомбардування частинок: експерименти та комп'ютерні розрахунки від порогових до енергій МеВ, в Теми з прикладної фізики (Спрінгер, 2007)

М. Тарц, Т. Гейн, Ч. Бундесманн, Ч. Ціммерманн, Х. Нойман, Eur. Фіз. Дж. Д. 61, 587 (2011)

Е. Оярзабал, Дж. Ю.Р.П.Дернер, Г.Р. Tynan, K. Schmid, J. Appl. Фіз. 100, 063301 (2006)

Ялін, Дж. Д. Вільямс, В. Сурла, К.А. Zoerb, J. Phys. D 40, 3194 (2007)

Р.П.Дернер, Д.Г. Уайт, Д.М. Гебель, Дж. Фіз. 93, 5816 (2003)

С. Бхаттачарджі, Дж. Чжан, В. Шуттанандан, П.К. Рей, Н.Р. Шивапаран, Р.Дж. Сміт, Nucl. Інструмент. Методи Фіз. Рез. B 129, 123 (1997)

P.C. Zalm, J. Appl. Фіз. 54, 2660 (1983)

C.H. Weijsenfeld, Phillips research reports suppl. No2 (1967)

Д. Розенберг, Г.К. Wehner, J. Appl. Фіз. 33, 1842 (1962)

Р.Д.Коласінський, М.М. Гарднер, М.Л. Джонсон, П. Дж. Вілбур, в Матеріали 41-ї спільної силової конференції AIAA/ASME/SAE/ASEE, Тусон, 2005 р., папір AIAA-2005-3526

Дж. Д. Вільямс, в Матеріали 28-ї Міжнародної конференції з електричного руху, Тулуза, 2003 рік, папір IEPC-2003-130

Дж. Дж. Бландіно, Д.Г. Гудвін, К. Е. Гарнер, в Матеріали 32-ї спільної силової конференції AIAA/ASME/SAE/ASEE, озеро Буена-Віста, 1996 р., папір AIAA-96-3203

Е. Оярзабал, Р.П.Дернер, М.Шімада, Г.Р. Tynan, J. Appl. Фіз. 104, 043305 (2008)

М. Тарц, Х. Нейман, плазмові процеси та полімери 4, S633 (2007)

Р. Д. Коласінський, Й. Е. Полк, Д. Гебель, Л. К. Джонсон, заява Поверхня Sci. 254, 2506 (2008)

Дж. Д. Вільямс, М.Л. Джонсон, Д. Вільямс, в Матеріали 40-ї спільної силової конференції AIAA/ASME/SAE/ASEE, Форт-Лодердейл, 2004 р., папір AIAA-2004-3788

Б. Рубін, Ж. Л. Топпер, А. П. Ялін, Дж. Фіз. D 42, 205205 (2009)

М. Тарц, Т. Гейн, Ч. Бундесманн, Х. Нойман, в Матеріали 31-ї Міжнародної конференції з електричного руху, Ен-Арбор, 2009 рік, папір IEPC-2009-240

А.П.Ялін, Б.Рубін, С.Р. Домінгу, З. Глюкерт, Дж. Д. Вільямс, в Матеріали 43-ї спільної силової конференції AIAA/ASME/SAE/ASEE, Цинциннаті, 2007, папір AIAA-2007-5314

Ю. Гарньє, В. Віль, Дж. Ф. Руссель, Дж. Бернард, Дж. Вакуум Sci. Технол. 17, 3246 (1999)

Дж. Чжан, С. Бхаттачарджі, В. Шуттанандан, П.К. Рей, Дж. Вакуумний наук. Технол. 15, 243 (1997)

H.W. Лефевр, Р.М.С. Шофілд, Г.С.Бенч, Г.Дж.Ф. Легге, Нукл. Інструмент. Методи Фіз. Рез. B 54, 363 (1991)

В. Екштейн, Дж. Бірсак, Нукл. Інструмент. Методи Фіз. Рез. B 2, 550 (1984)

J.P. Biersack, W. Eckstein, Appl. Фіз. A 34, 73 (1984)

Р. Сілок, А. Маццоліні, Г. Легге, Нукл. Інструмент. Методи. Фіз. Рез. B 218, 217 (1983)

Дж. Оверлі, Р. Коноллі, Г. Зігер, Дж. Макдональд, Х. Лефевр, Нукл. Інструмент. Методи. Фіз. Рез. B 218, 43 (1983)

Дж. Циглер, Дж. Бірзак, У. Літтмарк, Зупинка та діапазон дії іонів у твердих тілах (Pergamon Press, 1985)

D. Spemann та ін., Nucl. Інструмент. Методи Фіз. Рез. B 269, 2175 (2011)

В. Екштейн, Звіт Ipp 9/132 (MPG, Гархінг, 2002)

Дж. Ліндхард, М. Шарф, Фіз. Преподобний. 124, 128 (1961)

О.С. Оен, М.Т. Робінзон, Nucl. Інструмент. Методи 132, 647 (1976)

У. Д. Вільсон, Л. Г. Хаггмарк, Дж. П. Бірзак, Фіз. Преподобний Б 15, 2458 (1977)

Ю. Кудрявцев, А. Віллегас, А. Годінес, Р. Асомоза, заява. Серфінг. Наук. 239, 273 (2005)

Й. Богданський, Nucl. Інструмент. Методи Фіз. Рез. B 2, 587 (1984)

К. Гарсія-Росалес, В. Екштейн, Дж. Рот, Дж. Нукл. Матер. 218, 8 (1994)

М. Тарц, Е. Гартман, Х. Нойман, преподобний наук. Інструмент. 79, 020000 (2008)